四探針電阻率儀型號： KDY-4 
嚴格按照硅片電阻率測量的標準（ASTM F84）及國家標準設(shè)計制造，并針對目前常用的四探針電阻率測試儀存在的問題加以改進。整套儀器有如下特點：
1、配有雙數(shù)字表：一塊數(shù)字表在測量顯示硅片電阻率的同時，另一塊數(shù)字表適時監(jiān)測全過程中的電流變化，使操作更簡便，測量更。
數(shù)字電壓表量程：0—199.9mV 靈敏度：100μV 輸入阻抗：1000ΜΩ
基本誤差±（0.4-0.5%讀數(shù)+0.1%滿度）
2、可測電阻率范圍：10—3 —1.9×103Ω·cm。
可測方塊電阻范圍：10—2 —1.9×104Ω/□。
3、設(shè)有電壓表自動復零功能，當四探針頭1、4探針間未有測量電流流過時，電壓表指零，只有1、4探針接觸到硅片，測量電流渡過單晶時，電壓表才指示2、3探針間的電壓（即電阻率）值，避免空間雜散電波對測量的干擾。
4、流經(jīng)硅片的測量電流由高度穩(wěn)定（萬分之五精度）的特制恒流源提供，不受氣候條件的影響，整機測量精度＜3%。
電流量程分五檔：10μA、100μA、1mA、10mA、100mA。
5、儀器采用觸點電阻更低（＜5mΩ）、使用壽命更長的轉(zhuǎn)換開頭及繼電器（＞10萬次），在絕緣電阻、電流容量方面留有更大的安全系數(shù)，提高了測試儀的可靠性和使用壽命。
6、四探針頭采用上先進的紅寶石軸套導向結(jié)構(gòu)，使探針的游移率減小，測量重復性提高