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數(shù)字式四探針測試儀

更新時(shí)間:2017-12-12  |  點(diǎn)擊率:498

數(shù)字式四探針測試儀

產(chǎn)品名稱:數(shù)字式四探針測試儀
產(chǎn)品型號: SZT-I 停產(chǎn) 

數(shù)字式四探針測試儀型號:SZT-I
SZT-I型數(shù)字式四探針測試儀是運(yùn)用四探針測量原理 的多用途綜合測量裝置。它可以測量片狀、快狀半導(dǎo)體材料徑向和軸向電阻率,測量片狀半導(dǎo)體材料的電阻率和擴(kuò)散層的薄層電阻(方塊電阻),換上特制的四探針測試夾,還可以對金屬導(dǎo)體的低中值電阻進(jìn)行測量。此外,探針經(jīng)過特殊加工后,還可以測量薄膜材料電阻率。廣泛適用于半導(dǎo)體材料、器件廠、高等院?;瘜W(xué)物理系、科研單位,對半導(dǎo)體材料的電阻性能測試。 
本儀器測試探頭采用寶石導(dǎo)向軸套和高耐磨碳化鎢探針,定位準(zhǔn)確,游移率小,使用壽命長。 
技術(shù)參數(shù): 
1. 測量范圍: 
電阻率:10的-4次方~10的3 次方Ω-cm 
方塊電阻:10的-3次方 ~10的4 次方Ω/□ 
電阻:10的-6次方 ~10的5 次方Ω 
導(dǎo)電類型鑒別:電阻率范圍 10的-4 次方~10 的3次方Ω—cm 
2. 可測半導(dǎo)體材料尺寸 
直徑:φ15~100 mm 
長度:≤400mm 
3. 測量方法: 
軸向、斷面均可 
4. 顯示方式:31/2,數(shù)顯,性、過載自動(dòng)顯示,小數(shù)點(diǎn)、單位自動(dòng)顯示。 
5. 恒流源: 
(1) 電流輸出:直流電流0~100 mA連續(xù)可調(diào)。 
(2) 量程:10、100μA、1、10、100mA 
(3) 誤差:±0.5%讀數(shù)±2個(gè)字 
6.四探針測試探頭 
(1) 探針間距:1mm 
(2) 材料:碳化鎢.探針機(jī)械游移率:±1.0% 
7.電源:220±10% 50Hz或60Hz 功耗:<35W 
 

 

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