數(shù)字式電阻率測試儀 便攜式電阻率檢測儀

產(chǎn)品名稱：數(shù)字式電阻率測試儀 便攜式電阻率檢測儀 產(chǎn)品型號：M-2

數(shù)字式電阻率測試儀/便攜式電阻率檢測儀型號：M-2

一·概述 
M-2型數(shù)字式電阻率測試儀是運用四探針測量原理的多種用途綜合測量裝置，它可以測量片狀，塊狀半導(dǎo)體材料的徑向和軸向電阻率，測量擴(kuò)散層的薄層電阻（也稱方塊電阻）。換上特制的四探針測試夾具，還可以對金屬導(dǎo)體的低，中值電阻進(jìn)行測量。 

儀器由主機(jī)，測試探頭（可選配測試臺）等部分組成，測試結(jié)果用數(shù)字表頭直接顯示。主機(jī)主要由數(shù)控恒流源，高分辨率ADC，嵌入式單片機(jī)系統(tǒng)組成，自動轉(zhuǎn)換量程。測試探頭采用高耐磨碳化鎢探針制成，定位準(zhǔn)確，游移率較小，壽命長。 

儀器適用于半導(dǎo)體材料廠，半導(dǎo)體器件廠，科研單位，高等院校對半導(dǎo)體材料的電阻性能的測試。特別適用于要求快速測量中低電阻率的場合. 

本儀器工作條件為： 
溫度：  
相對濕度： 60% ~ 70% 
工作室內(nèi)應(yīng)無強電磁場干擾，不與高頻設(shè)備共用電源 

二· 技術(shù)參數(shù) 
1. 測量范圍： 

電阻率：10 -2  ~ 102Ω-cm 
方塊電阻：10 -1  ~ 103Ω/□ 
電阻：10 -3  ~ 9999Ω 



2. 可測半導(dǎo)體材料尺寸 
直徑：15mm-100mm 
長（或高）度：≤400mm 


3. 測量方位： 
軸向，徑向均可 

4. 數(shù)字電壓表 
量程：2V 
誤差: ：± 0.1% FSB ± 2LSB 
zui大分辨力：10μA 
精度： 18位ADC ( 5 1/2 位) 
顯示：4位數(shù)字顯示，小數(shù)點自動顯示 

5. 數(shù)控恒流源 
電流輸出： 直流電流 2μA~ 2mA, 2μA步進(jìn)可調(diào)，系統(tǒng)自動調(diào)整。 
誤差：± 0.1% FSB ± 0.5LSB 

6. 四探針測試探頭： 
探針間距： 1mm 
探針機(jī)械游移率：± 1% 
探針：碳化鎢，直徑0.5mm 
7.電源：  
DC 4.5V ~8V 
功耗： < 1W 
電源適配器：輸入： 220V±10% 50Hz 
輸出：DC5V ± 10% 
8. 外形尺寸： 
主機(jī)： 170mm (長) X 130mm (寬) X50mm(高)